Nitrogen Trifluoride NF3 Elektronesch Gas
Produkt beschreiwung
Nitrogen Trifluoride ass eng anorganesch Verbindung, chemesch Formel NF3, faarweg Gas bei normaler Temperatur an Drock, onopléisbar am Waasser, ass e staarken Oxidatiounsmëttel, ass en exzellente Plasma Ätzgas an der Mikroelektronikindustrie, a kann och als héich Energie benotzt ginn. Brennstoff.
Spezifizéierung
Spezifizéierung | 99,99% | 99,999% |
Kuelestofftetrafluorid | ≤40 ppmv | ≤20 ppmv |
Stéckstoff | ≤10 ppmv | ≤50 ppmv |
Sauerstoff + Argon | ≤5 ppmv | ≤3 ppmv |
Kuelemonoxid | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Kuelendioxid | ≤3 ppmv | ≤0,5 ppmv |
Nitrous Oxid | ≤3 ppmv | ≤1 ppmv |
Schwefel Hexafluorid | ≤3 ppmv | ≤2 ppmv |
Fiichtegkeet | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Express als HF | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Typesch Applikatioun
Package & Versand
Produit | Nitrogen Trifluoride NF3 |
Verpakung Gréisst | 40 Ltr Zylinder |
Nettogewiicht/Zyl | 20 kgs |
QTY Lued an 20'Container | 240 Zyl |
Total Netto Gewiicht | 4,8 Tonnen |
Zylinder Tara Gewiicht | 52kg vun |
Ventil | CGA330/DISS640 |