Электрондук газдар
0102030405
Вольфрам гексафториди WF6
Description
Вольфрам гексафториди – бул WF6 химиялык формуласы бар органикалык эмес кошулма, бөлмө температурасында жана басымда түссүз газ жана көпчүлүк органикалык эриткичтерде эрүүчү.
Продукт мазмуну
| Спецификация | 99.999% | ||
| CF4 |
| К | ≤5ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10ppb |
| N2 | ＜1ppm | Уже | ≤5ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤0,1ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | Of | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | Ошол | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | IN | ≤0,05ppb |
| HF | ＜промилле | Zn | ≤10ppb |
| Ал | ≤10ppb | Жана | ≤10ppb |
| катары | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| Б | ≤10ppb | П | ≤2ppb |
| Ошол | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
| CD | ≤2ppb | жылы | ≤20ppb |
| Cr | ≤10ppb | менен | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | Мо | ≤10ppb |
| Башка металлдардын жалпы аралашмалары | ≤500 | ||
Пакет жана жеткирүү
| Продукт | Вольфрам гексафториди WF6 | ||
| Пакеттин өлчөмү | 10 литр цилиндр | 50 литр цилиндр | / |
| Толтуруу таза Салмагы/Цил | 15KGS | 50кг | |
| САНЫ 20'Контейнерге жүктөлгөн | 500Cyls | 200Cyls | |
| Цилиндрдин салмагы | 14кг | 55кг | |
| Клапан | CGA638 | ||
Типтүү Колдонмо
Вольфрам фториди (WF6) жалгыз туруктуу жана өнөр жайда өндүрүлгөн вольфрам фторидинин сорту. Ал негизинен электроника тармагында вольфрам металлынын химиялык буусу (CVD) процесси үчүн чийки зат катары колдонулат жана андан жасалган WSi2 ири масштабдуу интегралдык микросхемаларда (LSI) электр өткөргүч материалы катары колдонулушу мүмкүн, ошондой эле жарым өткөргүч электроддор, фтордоочу агенттер, полимерлөө катализаторлору жана оптикалык материалдар үчүн чийки зат катары колдонулат. WF6нын электрондук эмес колдонмолору: Вольфрам болоттун беттик касиеттерин жакшыртуу үчүн CVD технологиясы боюнча болоттун бетинде вольфрам карбидин өндүрүү үчүн катуу жасалышы мүмкүн, ошондой эле вольфрам түтүктөрү жана тигелдер сыяктуу кээ бир вольфрам компоненттерин өндүрүү үчүн колдонулушу мүмкүн.