제품
실란 SiH4 전자 가스
설명
실란(실리칸)은 화학식 SiH4를 갖는 무기 화합물입니다. 이는 아세트산과 다소 유사한 날카롭고 혐오스럽고 자극적인 냄새를 지닌 무색의 자연발화성 독성 가스입니다. 실란은 원소 실리콘의 전구체로서 실질적인 관심을 끌고 있습니다. 알킬기를 함유한 실란은 콘크리트 및 석조물과 같은 광물 표면에 효과적인 발수제입니다. 유기 및 무기 결합이 모두 포함된 실란이 커플링제로 사용됩니다. 이는 일반적으로 표면에 코팅을 적용하거나 접착 촉진제로 사용됩니다.
제품 내용
| 요소 | 99.99% | 99.999% | 99.9999% | 단위 |
| 산소(Ar) | ≤1 | ≤0.4 | ≤0.1 | ppmV |
| 질소 | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | ppmV |
| 수소 | ≤50 | ≤30 | 20 이하 | ppmV |
| 헬륨 | / | ≤10 | ≤10 | ppmV |
| CO+CO2 | ≤0.2 | ≤0.4 | ≤0.1 | ppmV |
| THC | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.1 | ppmV |
| 클로로실란 | ≤15 | ≤0.2 | ≤0.1 | ppmV |
| 디실록산 | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | ppmV |
| 디실란 | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | ppmV |
| 수분(H2O) | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | ppmV |
포장 및 배송
| 제품 | 실란 SiH4 액체 | |
| 패키지 크기 | 47Ltr 실린더 | Y-440L |
| 채우는 순중량/Cyl | 10Kg | 120Kg |
| 20'컨테이너에 적재된 수량 | 216실 | 8기통 |
| 총 순중량 | 2.2톤 | 960Kg |
| 실린더 용기 중량 | 52Kg | 680Kg |
| 판막 | CGA632/DISS632 | |
일반적인 응용
1. 실란은 반도체 산업에서 단결정 실리콘, 다결정 실리콘 에피택셜 웨이퍼 및 이산화규소, 질화규소, 인산화규소 유리 등과 같은 화학 기상 증착 공정의 실리콘 공급원입니다.
2. 실란은 태양 전지, 실리콘 복사기 및 드럼, 광전 센서, 광섬유 및 특수 유리의 생산 및 개발에 널리 사용됩니다.
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