제품
삼불화질소 NF3 전자 가스
제품 설명
삼불화질소는 무기 화합물, 화학식 NF3, 상온 및 압력에서 무색 가스이며 물에 불용성이며 강력한 산화제이며 마이크로 전자 산업에서 탁월한 플라즈마 에칭 가스이며 고에너지로도 사용할 수 있습니다. 연료.
사양
사양 | 99.99% | 99.999% |
사불화탄소 | 40ppmv 이하 | 20ppmv 이하 |
질소 | 10ppmv 이하 | 50ppmv 이하 |
산소+아르곤 | 5ppmv 이하 | 3ppmv 이하 |
일산화탄소 | 1ppmv 이하 | 1ppmv 이하 |
이산화탄소 | 3ppmv 이하 | 0.5ppmv 이하 |
아산화질소 | 3ppmv 이하 | 1ppmv 이하 |
육불화황 | 3ppmv 이하 | 2ppmv 이하 |
수분 | 1ppmv 이하 | 1ppmv 이하 |
HF로 표현 | 1ppmv 이하 | 1ppmv 이하 |
일반적인 응용
① 산화제로서 : 불화수소 레이저의 산화제로 사용할 수 있습니다.
② 식각제 : 반도체, 액정, 박막 태양전지 제조 시 식각제로 사용 가능합니다.
패키지 및 배송
제품 | 삼불화질소 NF3 |
포장 크기 | 40Ltr 실린더 |
채우는 순중량/Cyl | 20kg |
20'컨테이너에 적재된 수량 | 240 실린더 |
총 순중량 | 4.8톤 |
실린더 용기 중량 | 52kg |
판막 | CGA330/DISS640 |