Tungsten hexafluoride WF6

Tungsten fluoride (WF6) គឺជាប្រភេទហ្វ្លុយអូរីត tungsten ដែលមានស្ថេរភាព និងផលិតដោយឧស្សាហកម្មតែមួយគត់។ វាត្រូវបានគេប្រើជាចម្បងជាវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់ដំណើរការបំភាយចំហាយគីមីនៃលោហៈធាតុ tungsten (CVD) នៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក ហើយ WSi2 ដែលផលិតពីវាអាចត្រូវបានប្រើជាសម្ភារៈខ្សែភ្លើងនៅក្នុងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាខ្នាតធំ (LSI) ហើយក៏អាចជា ប្រើជាវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់អេឡិចត្រូត semiconductor ភ្នាក់ងារ fluorinating កាតាលីករ polymerization និងសម្ភារៈអុបទិក។ កម្មវិធីដែលមិនមែនជាអេឡិចត្រូនិករបស់ WF6៖ តង់ស្តែនអាចបង្កើតការលំបាកក្នុងការផលិត tungsten carbide លើផ្ទៃដែកដោយបច្ចេកវិទ្យា CVD ដើម្បីកែលម្អលក្ខណៈសម្បត្តិផ្ទៃរបស់ដែក ហើយក៏អាចប្រើសម្រាប់ផលិតសមាសធាតុ tungsten មួយចំនួនដូចជាបំពង់ tungsten និង crucibles ផងដែរ។