Электрондық газдар
Вольфрам гексафториді WF6
Сипаттама
Вольфрам гексафториді - WF6 химиялық формуласы бар бейорганикалық қосылыс, бөлме температурасында және қысымда түссіз газ және көптеген органикалық еріткіштерде ериді.
Өнім мазмұны
| Техникалық сипаттама | 99,999% | ||
| CF4 |
| Қ | ≤5ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10ppb |
| N2 | ＜1 бет/мин | Қазірдің өзінде | ≤5ppb |
| CO | ＜0,5 бет/мин | Th | ≤0,1ppb |
| CO2 | ＜0,5 бет/мин | Оның | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0,5 бет/мин | Бұл | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0,5 бет/мин | IN | ≤0,05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| Әл | ≤10ppb | Және | ≤10ppb |
| ретінде | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| Б | ≤10ppb | П | ≤2ppb |
| Бұл | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
| CD | ≤2ppb | жылы | ≤20ppb |
| Cr | ≤10ppb | бірге | ≤5ppb |
| Фе | ≤10ppb | Ай | ≤10ppb |
| Басқа металдардың жалпы қоспалары | ≤500 | ||
Пакет және жеткізу
| Өнім | Вольфрам гексафториді WF6 | ||
| Пакет өлшемі | 10 литр цилиндр | 50 литр цилиндр | / |
| Толтыру таза салмағы/цил | 15KGS | 50 кг | |
| Саны 20'контейнерге салынған | 500Цил | 200Цил | |
| Цилиндрдің салмағы | 14 кг | 55 кг | |
| Клапан | CGA638 | ||
Типтік қолданба
Вольфрам фториді (WF6) - тұрақты және өнеркәсіпте өндірілген вольфрам фторидінің жалғыз түрі. Ол негізінен электроника өнеркәсібінде вольфрам металын химиялық буларды тұндыру (CVD) процесі үшін шикізат ретінде пайдаланылады және одан жасалған WSi2 ауқымды интегралды схемаларда (LSI) сым материалы ретінде пайдаланылуы мүмкін, сонымен қатар жартылай өткізгіш электродтар, фторлаушы агенттер, полимерлеу катализаторлары және оптикалық материалдар үшін шикізат ретінде пайдаланылады. WF6 электрондық емес қолданбалары: Вольфрамды болаттың беткі қасиеттерін жақсарту үшін CVD технологиясы бойынша болат бетінде вольфрам карбидін шығару қиындатылуы мүмкін, сонымен қатар вольфрам құбырлары мен тигельдер сияқты кейбір вольфрам компоненттерін өндіру үшін пайдаланылуы мүмкін.