აზოტის ტრიფტორი NF3 ელექტრონული გაზი
პროდუქტის აღწერა
აზოტის ტრიფტორიდი არის არაორგანული ნაერთი, ქიმიური ფორმულა NF3, უფერო გაზი ნორმალურ ტემპერატურასა და წნევაზე, წყალში უხსნადი, არის ძლიერი ჟანგვის აგენტი, არის შესანიშნავი პლაზმური გაზი მიკროელექტრონული ინდუსტრიაში და ასევე შეიძლება გამოყენებულ იქნას როგორც მაღალი ენერგიის წყარო. საწვავი.
სპეციფიკაცია
სპეციფიკაცია | 99.99% | 99.999% |
ნახშირბადის ტეტრაფტორიდი | ≤40 ppmv | ≤20 ppmv |
აზოტი | ≤10 ppmv | ≤50 ppmv |
ჟანგბადი + არგონი | ≤5 ppmv | ≤3ppmv |
ნახშირბადის მონოქსიდი | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Ნახშირორჟანგი | ≤3ppmv | ≤0.5ppmv |
Აზოტის ოქსიდი | ≤3ppmv | ≤1ppmv |
გოგირდის ჰექსაფტორიდი | ≤3ppmv | ≤2 ppmv |
ტენიანობა | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
გამოხატეთ როგორც HF | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
ტიპიური აპლიკაცია
პაკეტი და მიწოდება
პროდუქტი | აზოტის ტრიფტორი NF3 |
შეფუთვის ზომა | 40 ლიტრიანი ცილინდრი |
შევსების წმინდა წონა/ცილა | 20 კგ |
QTY ჩატვირთულია 20' კონტეინერში | 240 ცილი |
მთლიანი წმინდა წონა | 4.8 ტონა |
ცილინდრის ტარის წონა | 52 კგ |
სარქველი | CGA330/DISS640 |