製品
シラン SiH4 電子ガス
説明
シラン (シリカン) は、化学式 SiH4 の無機化合物です。 これは無色の自然発火性の有毒ガスで、酢酸に似た鋭い、不快な刺激臭を持っています。 シランは、元素シリコンの前駆体として実際に興味深いものです。 アルキル基を有するシランは、コンクリートや石材などの鉱物表面に効果的な撥水剤です。 有機結合と無機結合の両方を持つシランがカップリング剤として使用されます。 これらは一般に、表面にコーティングを施すため、または接着促進剤として使用されます。
製品内容
| 成分 | 99.99% | 99.999% | 99.9999% | ユニット |
| 酸素(Ar) | ≤1 | ≤0.4 | ≤0.1 | ppmV |
| 窒素 | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | ppmV |
| 水素 | ≤50 | ≤30 | ≤20 | ppmV |
| ヘリウム | / | ≤10 | ≤10 | ppmV |
| CO+CO2 | ≤0.2 | ≤0.4 | ≤0.1 | ppmV |
| THC | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.1 | ppmV |
| クロロシラン | ≤15 | ≤0.2 | ≤0.1 | ppmV |
| ジシロキサン | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | ppmV |
| ジシラン | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | ppmV |
| 水分（H2O） | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | ppmV |
梱包と配送
| 製品 | シラン SiH4 液体 | |
| 小包のサイズ | 47Ltrシリンダー | Y-440L |
| 充填正味重量/シリンダー | 10kg | 120kg |
| 20'コンテナに積まれた数量 | 216 シリンダー | 8Cyls |
| 総正味重量 | 2.2トン | 960kg |
| シリンダー風袋重量 | 52kg | 680kg |
| バルブ | CGA632/DISS632 | |
代表的な用途
1.シランは、半導体産業における単結晶シリコン、多結晶シリコンエピタキシャルウェーハ、および二酸化シリコン、窒化シリコン、リンシリカガラスなどの化学蒸着プロセスのシリコン源です。
2.シランは、太陽電池、シリコンコピー機およびドラム、光電センサー、光ファイバー、特殊ガラスの生産および開発に広く使用されています。
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