製品
三フッ化窒素 NF3 電子ガス
製品説明
三フッ化窒素は、化学式 NF3 の無機化合物で、常温常圧では無色の気体で、水に不溶で、強力な酸化剤であり、マイクロエレクトロニクス産業における優れたプラズマ エッチング ガスであり、高エネルギーガスとしても使用できます。燃料。
仕様
仕様 | 99.99% | 99.999% |
四フッ化炭素 | ≤40ppmv | ≤20ppmv |
窒素 | ≤10ppmv | ≤50ppmv |
酸素+アルゴン | ≤5ppmv | ≤3ppmv |
一酸化炭素 | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
二酸化炭素 | ≤3ppmv | ≤0.5ppmv |
亜酸化窒素 | ≤3ppmv | ≤1ppmv |
六フッ化硫黄 | ≤3ppmv | ≤2ppmv |
水分 | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
HFとして表現 | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
代表的な用途
①酸化剤として：フッ化水素レーザーの酸化剤として使用できます。
②エッチング剤として：半導体、液晶、薄膜太陽電池の製造におけるエッチング剤として使用できます。
梱包と配送
製品 | 三フッ化窒素NF3 |
梱包サイズ | 40Ltrシリンダー |
充填正味重量/シリンダー | 20kg |
20'コンテナに積まれた数量 | 240 シリンダー |
総正味重量 | 4.8トン |
シリンダー風袋重量 | 52kg |
バルブ | CGA330/DISS640 |