製品
四フッ化炭素 CF4 R14 電子ガス
製品説明
テトラフルオロメタンとしても知られる四フッ化炭素は、化学式 CF4 を持ちます。 ハロゲン化炭化水素（有機物）または無機化合物とみなすことができます。 常温常圧では無色の気体であり、不溶性である。 水に溶け、ベンゼンやクロロホルムに溶けるため、主にさまざまな集積回路のプラズマエッチングプロセスに使用されます。 レーザーガスの冷媒、低温冷媒、溶剤、潤滑剤、絶縁材、赤外線検知管としても使用されます。
仕様
仕様 | 99.999% |
酸素+アルゴン | ≤1ppm |
窒素 | ≤4ppm |
水分(H2O) | ≤3ppm |
HF | ≤0.1ppm |
CO | ≤0.1ppm |
CO2 | ≤1ppm |
SF6 | ≤1ppm |
ハロカルビン | ≤1ppm |
総不純物 | ≤10ppm |
代表的な用途
①冷媒：低温冷媒としてテトラフルオロメタンが使用される場合があります。
②エッチング：シリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素のプラズマエッチャントとして単独または酸素と組み合わせてエレクトロニクス微細加工に使用されます。
梱包と配送
製品 | 四フッ化炭素 CF4 | ||
小包のサイズ | 40Ltrシリンダー | 50Ltrシリンダー |
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充填正味重量/シリンダー | 30kg | 38kg |
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20'コンテナに積まれた数量 | 250 シリンダー | 250 シリンダー | |
総正味重量 | 7.5トン | 9.5トン | |
シリンダー風袋重量 | 50kg | 55kg | |
バルブ | CGA580 | ||