גזים אלקטרוניים
טונגסטן הקספלואוריד WF6
תֵאוּר
טונגסטן הקספלואוריד הוא תרכובת אנאורגנית עם הנוסחה הכימית WF6, גז חסר צבע בטמפרטורת החדר ובלחץ, ומסיס ברוב הממיסים האורגניים.
תוכן המוצר
| מִפרָט | 99.999% | ||
| CF4 |
| ק | ≤5ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10ppb |
| N2 | ＜1 עמודים לדקה | כְּבָר | ≤5ppb |
| מְשׁוּתָף | ＜0.5 עמודים לדקה | Th | ≤0.1ppb |
| CO2 | ＜0.5 עמודים לדקה | שֶׁל | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0.5 עמודים לדקה | זֶה | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0.5 עמודים לדקה | IN | ≤0.05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| אל | ≤10ppb | ו | ≤10ppb |
| כְּמוֹ | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| ב | ≤10ppb | פ | ≤2ppb |
| זֶה | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
| CD | ≤2ppb | ב | ≤20ppb |
| Cr | ≤10ppb | עִם | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | מו | ≤10ppb |
| סך כל זיהומים של מתכת אחרת | ≤500 | ||
חבילה ומשלוח
| מוּצָר | טונגסטן הקספלואוריד WF6 | ||
| גודל חבילה | צילינדר 10 ליטר | צילינדר 50 ליטר | / |
| מילוי משקל נטו/סיל | 15 ק"ג | 50 ק"ג | |
| כמות נטען במיכל 20' | 500 סיילים | 200 סייל | |
| משקל טרה צילינדר | 14 ק"ג | 55 ק"ג | |
| שַׁסתוֹם | CGA638 | ||
יישום טיפוסי
טונגסטן פלואוריד (WF6) הוא זן הפלואוריד הטונגסטן היציב והמיוצר היחיד. הוא משמש בעיקר כחומר גלם לתהליך שקיעת אדים כימית של מתכת טונגסטן (CVD) בתעשיית האלקטרוניקה, וה-WSi2 המיוצר ממנו יכול לשמש כחומר חיווט במעגלים משולבים בקנה מידה גדול (LSI), ויכול גם להיות משמש כחומר גלם לאלקטרודות מוליכים למחצה, חומרי הפלרה, זרזי פילמור וחומרים אופטיים. יישומים לא אלקטרוניים של WF6: ניתן להקשות על טונגסטן לייצר טונגסטן קרביד על פני השטח של פלדה על ידי טכנולוגיית CVD כדי לשפר את תכונות פני השטח של פלדה, וניתן להשתמש בו גם לייצור רכיבי טונגסטן מסוימים, כגון צינורות טונגסטן וכור היתוך.