חנקן טריפלואוריד NF3 גז אלקטרוני

מִפרָט

99.99%

99.999%

פחמן טטרפלואוריד

≤40ppmv

≤20ppmv

חַנקָן

≤10ppmv

≤50ppmv

חמצן+ארגון

≤5ppmv

≤3ppmv

פחמן חד חמצני

≤1ppmv

≤1ppmv

פחמן דו חמצני

≤3ppmv

≤0.5ppmv

חמצן דו חנקני

≤3ppmv

≤1ppmv

גופרית הקספלואוריד

≤3ppmv

≤2ppmv

לַחוּת

≤1ppmv

≤1ppmv

אקספרס כ-HF

≤1ppmv

≤1ppmv

מוצר

חנקן טריפלואוריד NF3

גודל אריזה

צילינדר 40 ליטר

מילוי משקל נטו/סיל

20 ק"ג

כמות נטען במיכל 20'

240 סייל

משקל נטו הכולל

4.8 טון

משקל טרה צילינדר

52 ק"ג

שסתום

CGA330/DISS640