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Gas elettronico trifluoruro di azoto NF3

Prodotti

Gas elettronico trifluoruro di azoto NF3

Specifica:

N. CAS: 7783-54-2

N. EINECS:232-007-1

N. ONU: ONU 2451

Classe DOT: 2.2 e 5.1

Purezza: 99,99%-99,999%

Confezione standard: bombole da 40 litri/bombole da 47 litri/bombole da 440 litri

Peso molecolare: 71,0019 g/mol

Densità: 2,96 kg/m³

Proprietà chimiche: gas non infiammabile, agente ossidante

Grado standard: grado industriale, grado elettronico

    Descrizione del prodotto

    Il trifluoruro di azoto è un composto inorganico, formula chimica NF3, gas incolore a temperatura e pressione normali, insolubile in acqua, è un forte agente ossidante, è un eccellente gas di incisione al plasma nell'industria microelettronica e può anche essere utilizzato come gas ad alta energia carburante.

    Specifica

    Specifica

    99,99%

    99,999%

    Tetrafluoruro di carbonio

    ≤40ppmv

    ≤20 ppm

    Azoto

    ≤10ppmv

    ≤50ppmv

    Ossigeno+Argon

    ≤5ppmv

    ≤3ppmv

    Monossido di carbonio

    ≤1 ppmv

    ≤1 ppmv

    Diossido di carbonio

    ≤3ppmv

    ≤0,5 ppm

    Ossido nitroso

    ≤3ppmv

    ≤1 ppmv

    Esafluoruro di zolfo

    ≤3ppmv

    ≤2ppmv

    Umidità

    ≤1 ppmv

    ≤1 ppmv

    Espresso come HF

    ≤1 ppmv

    ≤1 ppmv

    Applicazione tipica

    ① Come ossidante: può essere utilizzato come ossidante per i laser al fluoruro di idrogeno.
    ② Come agente di incisione: può essere utilizzato come agente di incisione nella produzione di semiconduttori, cristalli liquidi e celle solari a film sottile.

    Pacchetto e spedizione

    Prodotto

    Trifluoruro di azoto NF3​​​​

    Dimensioni dell'imballaggio

    Bombola da 40 litri

    Peso netto riempimento/cil

    20 kg

    QTÀ caricata in un contenitore da 20'

    240 cil

    Peso netto totale​​​​​​

    4,8 tonnellate

    Tara del cilindro​​​​​​

    52 kg

    Valvola

    CGA330/DISS640