Gas elettronico trifluoruro di azoto NF3
Descrizione del prodotto
Il trifluoruro di azoto è un composto inorganico, formula chimica NF3, gas incolore a temperatura e pressione normali, insolubile in acqua, è un forte agente ossidante, è un eccellente gas di incisione al plasma nell'industria microelettronica e può anche essere utilizzato come gas ad alta energia carburante.
Specifica
Specifica | 99,99% | 99,999% |
Tetrafluoruro di carbonio | ≤40ppmv | ≤20 ppm |
Azoto | ≤10ppmv | ≤50ppmv |
Ossigeno+Argon | ≤5ppmv | ≤3ppmv |
Monossido di carbonio | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Diossido di carbonio | ≤3ppmv | ≤0,5 ppm |
Ossido nitroso | ≤3ppmv | ≤1 ppmv |
Esafluoruro di zolfo | ≤3ppmv | ≤2ppmv |
Umidità | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Espresso come HF | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Applicazione tipica
Pacchetto e spedizione
Prodotto | Trifluoruro di azoto NF3 |
Dimensioni dell'imballaggio | Bombola da 40 litri |
Peso netto riempimento/cil | 20 kg |
QTÀ caricata in un contenitore da 20' | 240 cil |
Peso netto totale | 4,8 tonnellate |
Tara del cilindro | 52 kg |
Valvola | CGA330/DISS640 |