Rafeindalofttegundir
0102030405
Volfram hexaflúoríð WF6
Lýsing
Volframhexaflúoríð er ólífrænt efnasamband með efnaformúlu WF6, litlaus lofttegund við stofuhita og þrýsting, og leysanlegt í flestum lífrænum leysum.
Innihald vöru
| Forskrift | 99,999% | ||
| CF4 |
| K | ≤5ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10ppb |
| N2 | ＜1 ppm | Nú þegar | ≤5ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤0.1ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | Af | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | Það | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | IN | ≤0,05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| Al | ≤10ppb | Og | ≤10ppb |
| Sem | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| B | ≤10ppb | P | ≤2ppb |
| Það | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
| CD | ≤2ppb | Í | ≤20ppb |
| Kr | ≤10ppb | Með | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | Mo | ≤10ppb |
| Heildar óhreinindi af öðrum málmum | ≤500 | ||
Pakki og sendingarkostnaður
| Vara | Volfram hexaflúoríð WF6 | ||
| Pakkningastærð | 10Ltr strokka | 50Ltr strokka | / |
| Fylling Nettóþyngd/Cyl | 15 kg | 50 kg | |
| Magn Hlaðið í 20' ílát | 500 sílar | 200 sílar | |
| Þyngd strokka | 14 kg | 55 kg | |
| Loki | CGA638 | ||
Dæmigert forrit
Volframflúor (WF6) er eina stöðuga og iðnaðarframleidda wolframflúorafbrigðið. Það er aðallega notað sem hráefni fyrir wolfram málmefnagufu (CVD) ferli í rafeindaiðnaði, og WSi2 úr því er hægt að nota sem raflögn í stórum samþættum hringrásum (LSI) og getur einnig verið notað sem hráefni fyrir hálfleiðara rafskaut, flúorunarefni, fjölliðunarhvata og ljósfræðileg efni. Órafræn notkun WF6: Það er erfitt að framleiða wolframkarbíð á yfirborði stáls með CVD tækni til að bæta yfirborðseiginleika stáls, og einnig er hægt að nota það til að framleiða ákveðna wolframhluta, svo sem wolframrör og deiglur.