Hvers vegna Hálfleiðara Giant stækkar notkun háhreins flúors (F2 Mix)?

Samkvæmt sjálfbærniskýrslu SK Hynix 2024, sem nýlega var gefin út, mun Hynix koma í staðnitur tríflúoríð gasnotað í hálfleiðarahreinsunarferlum með umhverfisvænni lofttegundum með lágum hlýnunargetu (GWP). Það er greint frá því að þessi ferli notaháhreint flúorgasblanda (F2 Mix).

Í ætingarferli hálfleiðaraframleiðslu eru mannvirki ætuð inn í hálfleiðara. Þetta skref fer fram í svokallaðri ætingu. Ætað efnið sest einnig á veggi ætingarverkfærsins, þannig að sérstakt ferli er nauðsynlegt til að þrífa tólið. Í flestum tilfellum er það hreinsað meðNF3, en það eru til ætarar á markaðnum sem nota aháhreina F2/N2 gasblöndu.

Þessar gasblöndur fjarlægja SiO2 og Si3N4 efnasambönd á umhverfisvænan hátt og geta komið í staðinnNF3sem hreinsigas. Að auki er GWP (Global Warming Potential) F2/N2 blöndunnar núll miðað við NF3 17900. F2/N2 gasblöndun getur einnig komið í staðaðrar hreinsilofttegundir eins og CF4 eða C2F6.

SOLVAY hefur þróað og fengið einkaleyfi á mismunandi flúorgasblöndur. Sem umhverfisvænt gas fyrir CVD hreinsunarferli, notar Solvaclean® mun minna gas í hverri lotu og er því skilvirkara, þrátt fyrir að hafa svipaðan hreinsunarhraða miðað við aðra valkosti. Ef F2 er sleppt út í umhverfið brotnar það strax niður í HF. HF frásogast af raka og skolast síðan burt með rigningu. Ekkert er eftir í andrúmsloftinu. Solvaclean® vörur hafa núll GWP (Global Warming Potential).

Það er greint frá því að flísaframleiðendur eins og Hynix og Samsung séu að reyna að auka notkun á háhreinu flúorblönduðu gasi (F2 Mix).

Annað gas sem sífellt er notað ervetnisflúoríð (HF), sem er notað í cryogenic ætingarbúnaði. HF hefur GWP sem er 1 eða minna, mun lægra en flúorkolefnislofttegundirnar sem notaðar voru áður fyrir NAND rásholaætingu.Lofttegundir úr flúorkolefnisættinni koltetraflúoríð (CF4)og oktaflúorósýklóbútan (C4F8) hafa GWP 6030 og 9540, í sömu röð.

Einnig er gert ráð fyrir að ofangreind breyting á gasnotkun muni hafa áhrif á frammistöðu tengdrarafeindagasfyrirtæki.