Gas Elektronik Nitrogen Trifluorida NF3
Deskripsi Produk
Nitrogen Trifluorida adalah senyawa anorganik, rumus kimia NF3, gas tidak berwarna pada suhu dan tekanan normal, tidak larut dalam air, merupakan oksidator kuat, merupakan gas etsa plasma yang sangat baik dalam industri mikroelektronika, dan juga dapat digunakan sebagai energi tinggi bahan bakar.
Spesifikasi
Spesifikasi | 99,99% | 99,999% |
Karbon Tetrafluorida | ≤40ppmv | ≤20ppmv |
Nitrogen | ≤10ppmv | ≤50ppmv |
Oksigen+Argon | ≤5ppmv | ≤3ppmv |
Karbon monoksida | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Karbon dioksida | ≤3ppmv | ≤0,5ppmv |
Nitrous Oksida | ≤3ppmv | ≤1ppmv |
Sulfur Heksafluorida | ≤3ppmv | ≤2ppmv |
kelembaban | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Ekspresikan sebagai HF | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Aplikasi Khas
Paket & Pengiriman
Produk | Nitrogen Trifluorida NF3 |
Ukuran Kemasan | Silinder 40Ltr |
Mengisi Berat Bersih/Sil | 20kg |
QTY Dimuat dalam 20'Container | 240 Sil |
Total Berat Bersih | 4,8 Ton |
Berat Tara Silinder | 52kg |
Katup | CGA330/DISS640 |