Էլեկտրոնային գազեր
Վոլֆրամի հեքսաֆտորիդ WF6
Նկարագրություն
Վոլֆրամի հեքսաֆտորիդը անօրգանական միացություն է WF6 քիմիական բանաձևով, անգույն գազ սենյակային ջերմաստիճանում և ճնշման տակ և լուծելի օրգանական լուծիչների մեծ մասում:
Ապրանքի բովանդակություն
| Հստակեցում | 99,999% | ||
| CF4 |
| Կ | ≤5ppb |
| O2 |
| Մն | ≤10ppb |
| N2 | ＜1 ppm | Արդեն | ≤5ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Թ | ≤0.1ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | -ից | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | Դա | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | IN | ≤0.05ppb |
| ՀՖ | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| Ալ | ≤10ppb | Եվ | ≤10ppb |
| Ինչպես | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| Բ | ≤10ppb | Պ | ≤2ppb |
| Դա | ≤5ppb | Մգ | ≤10ppb |
| Cd | ≤2ppb | Մեջ | ≤20ppb |
| Քր | ≤10ppb | Հետ | ≤5ppb |
| Ֆե | ≤10ppb | Մո | ≤10ppb |
| Այլ մետաղների ընդհանուր կեղտեր | ≤500 | ||
Փաթեթ և առաքում
| Ապրանք | Վոլֆրամի հեքսաֆտորիդ WF6 | ||
| Փաթեթի չափը | 10 լտր բալոն | 50 լիտր բալոն | / |
| Լրացման զուտ քաշ/գլ | 15 կգ | 50 կգ | |
| QTY Բեռնված է 20' բեռնարկղում | 500 գլան | 200 գլան | |
| Մխոցների քաշը | 14 կգ | 55 կգ | |
| Փական | CGA638 | ||
Տիպիկ հավելված
Վոլֆրամի ֆտորիդը (WF6) միակ կայուն և արդյունաբերական արտադրության վոլֆրամի ֆտորիդային տեսակն է: Այն հիմնականում օգտագործվում է որպես հումք վոլֆրամի մետաղի քիմիական գոլորշիների նստեցման (CVD) գործընթացի համար էլեկտրոնիկայի արդյունաբերության մեջ, և դրանից պատրաստված WSi2-ը կարող է օգտագործվել որպես էլեկտրահաղորդման նյութ լայնածավալ ինտեգրալ սխեմաներում (LSI) և կարող է նաև լինել: օգտագործվում է որպես հումք կիսահաղորդչային էլեկտրոդների, ֆտորացնող նյութերի, պոլիմերացման կատալիզատորների և օպտիկական նյութերի համար։ WF6-ի ոչ էլեկտրոնային կիրառությունները. Վոլֆրամը կարող է դժվարացնել պողպատի մակերեսին վոլֆրամի կարբիդ արտադրելու համար CVD տեխնոլոգիայի միջոցով՝ բարելավելու պողպատի մակերեսային հատկությունները, և կարող է օգտագործվել նաև վոլֆրամի որոշ բաղադրիչներ, ինչպիսիք են վոլֆրամի խողովակները և խառնարանները արտադրելու համար: