Elektronikus gázok
Volfrám-hexafluorid WF6
Leírás
A volfrám-hexafluorid egy WF6 kémiai képletű szervetlen vegyület, szobahőmérsékleten és nyomáson színtelen gáz, és a legtöbb szerves oldószerben oldódik.
Terméktartalom
| Specifikáció | 99,999% | ||
| CF4 |
| K | ≤5 ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10 ppb |
| N2 | ＜1 ppm | Már | ≤5 ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤0,1 ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | Of | ≤10 ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | Hogy | ≤10 ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | IN | ≤0,05 ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10 ppb |
| Al | ≤10 ppb | És | ≤10 ppb |
| Mint | ≤10 ppb | Pb | ≤10 ppb |
| B | ≤10 ppb | P | ≤2 ppb |
| Hogy | ≤5 ppb | Mg | ≤10 ppb |
| CD | ≤2 ppb | In | ≤20 ppb |
| Kr | ≤10 ppb | Vel | ≤5 ppb |
| Fe | ≤10 ppb | Mo | ≤10 ppb |
| Egyéb fémek összes szennyeződése | ≤500 | ||
Csomag és szállítás
| Termék | Volfrám-hexafluorid WF6 | ||
| Csomag mérete | 10 literes henger | 50 literes henger | / |
| Töltés Nettó tömeg/Cyl | 15 kg | 50 kg | |
| Menny. 20'-es konténerbe töltve | 500 Cyl | 200 Cyl | |
| Henger tára tömege | 14 kg | 55 kg | |
| Szelep | CGA638 | ||
Tipikus alkalmazás
A volfrám-fluorid (WF6) az egyetlen stabil és iparilag előállított volfrám-fluorid fajta. Elsősorban az elektronikai ipar volfrámfém kémiai gőzleválasztási (CVD) folyamatának alapanyagaként használják, a belőle készült WSi2 pedig nagyméretű integrált áramkörök (LSI) huzalozási anyagaként is felhasználható, valamint félvezető elektródák, fluorozószerek, polimerizációs katalizátorok és optikai anyagok nyersanyagaként használják. A WF6 nem elektronikus alkalmazásai: A volfrám keményfém előállításához az acél felületén CVD technológiával az acél felületi tulajdonságainak javítása érdekében, valamint bizonyos volfrám alkatrészek, például volfrámcsövek és tégelyek gyártására is használható.