Elektronski plinovi
0102030405
Volfram heksafluorid WF6
Opis
Volframov heksafluorid je anorganski spoj kemijske formule WF6, bezbojni plin na sobnoj temperaturi i tlaku, topiv u većini organskih otapala.
Sadržaj proizvoda
| Specifikacija | 99,999% | ||
| CF4 |
| K | ≤5 ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10 ppb |
| N2 | ＜1 ppm | Već | ≤5 ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤0,1 ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | Od | ≤10 ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | Da | ≤10 ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | U | ≤0,05 ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10 ppb |
| Al | ≤10 ppb | I | ≤10 ppb |
| Kao | ≤10 ppb | Pb | ≤10 ppb |
| B | ≤10 ppb | P | ≤2 ppb |
| Da | ≤5 ppb | Mg | ≤10 ppb |
| CD | ≤2 ppb | U | ≤20 ppb |
| Kr | ≤10 ppb | S | ≤5 ppb |
| Fe | ≤10 ppb | Mo | ≤10 ppb |
| Ukupne nečistoće ostalih metala | ≤500 | ||
Pakiranje i dostava
| Proizvod | Volfram heksafluorid WF6 | ||
| Veličina paketa | Cilindar od 10 litara | Cilindar od 50 litara | / |
| Neto težina punjenja/cil | 15 kg | 50 kg | |
| KOLIČINA Utovareno u kontejner od 20' | 500Cyls | 200Cyls | |
| Tara težine cilindra | 14 kg | 55 kg | |
| Ventil | CGA638 | ||
Tipična primjena
Volfram fluorid (WF6) jedina je stabilna i industrijski proizvedena vrsta volfram fluorida. Uglavnom se koristi kao sirovina za proces kemijskog taloženja para (CVD) metala volframa u elektroničkoj industriji, a WSi2 izrađen od njega može se koristiti kao materijal za ožičenje u velikim integriranim krugovima (LSI), a također se može koristiti koristi se kao sirovina za poluvodičke elektrode, sredstva za fluoriranje, polimerizacijske katalizatore i optičke materijale. Neelektroničke primjene WF6: volfram se može otežati za proizvodnju volframovog karbida na površini čelika pomoću CVD tehnologije kako bi se poboljšala površinska svojstva čelika, a također se može koristiti za proizvodnju određenih komponenti od volframa, poput volframovih cijevi i lonaca.