नाइट्रोजन मिश्रण गैसों में सिलेन

अवयव

सिलेन 99.9999%

नाइट्रोजन 99.9999%

ऑक्सीजन + आर्गन

≤0.1ppmv

≤0.1ppmv

नाइट्रोजन

≤0.1ppmv

≥99.9999%

हाइड्रोजन

≤20ppmv

≤0.1ppmv

हीलियम

≤10पीपीएमवी

/

CO+CO2

≤0.1ppmv

≤0.2ppmv

टीएचसी

≤0.1ppmv

≤0.1ppmv

क्लोरोसिलेन्स

≤0.1ppmv

/

डिसिलोक्सेन

≤0.1ppmv

/

डिसिलेन

≤0.1ppmv

/

नमी (H2O)

≤0.1ppmv

≤0.5ppmv

उत्पाद

नाइट्रोजन मिश्रण गैसों में सिलेन

पैकेज का आकार

40 लीटर सिलेंडर

47 लीटर सिलेंडर

50 लीटर सिलेंडर

भरने का दबाव/सिलेंडर

80 बार

80 बार

80 बार

मात्रा 20'कंटेनर में लोड की गई

160 सिल

160 सिल

160 सिल

कुल शुद्ध मात्रा

512m3

601.6m3

640m3

सिलेंडर तारे का वजन

50 किग्रा

55 किग्रा

55 किग्रा

वाल्व

सीजीए350