नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड NF3 इलेक्ट्रॉनिक गैस

विनिर्देश

99.99%

99.999%

कार्बन टेट्रफ्लुओराइड

≤40पीपीएमवी

≤20ppmv

नाइट्रोजन

≤10पीपीएमवी

≤50पीपीएमवी

ऑक्सीजन+आर्गन

≤5ppmv

≤3ppmv

कार्बन मोनोआक्साइड

≤1पीपीएमवी

≤1पीपीएमवी

कार्बन डाईऑक्साइड

≤3ppmv

≤0.5ppmv

नाइट्रस ऑक्साइड

≤3ppmv

≤1पीपीएमवी

सल्फर हेक्साफ्लोराइड

≤3ppmv

≤2ppmv

नमी

≤1पीपीएमवी

≤1पीपीएमवी

एचएफ के रूप में व्यक्त करें

≤1पीपीएमवी

≤1पीपीएमवी

उत्पाद

नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड NF3​​​​

पैकेजिंग का आकार

40 लीटर सिलेंडर

शुद्ध वजन/सिलेंडर भरना

20 किग्रा

मात्रा 20'कंटेनर में लोड की गई

240 सिल

कुल शुद्ध वजन

4.8 टन

सिलेंडर तारे का वजन

52 किग्रा

वाल्व

CGA330/DISS640