ઇલેક્ટ્રોનિક વાયુઓ
0102030405
ટંગસ્ટન હેક્સાફ્લોરાઇડ WF6
વર્ણન
ટંગસ્ટન હેક્સાફ્લોરાઇડ એ રાસાયણિક સૂત્ર WF6 સાથેનું અકાર્બનિક સંયોજન છે, જે ઓરડાના તાપમાને અને દબાણ પર રંગહીન ગેસ છે અને મોટાભાગના કાર્બનિક દ્રાવકોમાં દ્રાવ્ય છે.
ઉત્પાદન સામગ્રી
| સ્પષ્ટીકરણ | 99.999% | ||
| CF4 |
| કે | ≤5ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10ppb |
| N2 | ＜1ppm | પહેલેથી જ | ≤5ppb |
| CO | ＜0.5ppm | ગુ | ≤0.1ppb |
| CO2 | ＜0.5ppm | ના | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0.5ppm | તે | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0.5ppm | IN | ≤0.05ppb |
| એચએફ | ＜પીપીએમ | Zn | ≤10ppb |
| અલ | ≤10ppb | અને | ≤10ppb |
| તરીકે | ≤10ppb | પી.બી | ≤10ppb |
| બી | ≤10ppb | પી | ≤2ppb |
| તે | ≤5ppb | એમજી | ≤10ppb |
| સીડી | ≤2ppb | માં | ≤20ppb |
| ક્ર | ≤10ppb | સાથે | ≤5ppb |
| ફે | ≤10ppb | મો | ≤10ppb |
| અન્ય ધાતુની કુલ અશુદ્ધિઓ | ≤500 | ||
પેકેજ અને શિપિંગ
| ઉત્પાદન | ટંગસ્ટન હેક્સાફ્લોરાઇડ WF6 | ||
| પેકેજ માપ | 10 લિટર સિલિન્ડર | 50 લિટર સિલિન્ડર | / |
| ચોખ્ખું વજન/સાયલ ભરવું | 15KGS | 50 કિગ્રા | |
| 20'કન્ટેનરમાં લોડ થયેલ QTY | 500Cyls | 200Cyls | |
| સિલિન્ડર તારે વજન | 14 કિગ્રા | 55 કિગ્રા | |
| વાલ્વ | CGA638 | ||
લાક્ષણિક એપ્લિકેશન
ટંગસ્ટન ફ્લોરાઈડ (WF6) એ એકમાત્ર સ્થિર અને ઔદ્યોગિક રીતે ઉત્પાદિત ટંગસ્ટન ફ્લોરાઈડની વિવિધતા છે. તેનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે ઈલેક્ટ્રોનિક્સ ઉદ્યોગમાં ટંગસ્ટન મેટલ કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન (CVD) પ્રક્રિયા માટે કાચા માલ તરીકે થાય છે અને તેમાંથી બનેલ WSi2 મોટા પાયે ઈન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ (LSI) માં વાયરિંગ મટિરિયલ તરીકે ઉપયોગમાં લઈ શકાય છે. સેમિકન્ડક્ટર ઇલેક્ટ્રોડ્સ, ફ્લોરિનેટીંગ એજન્ટો, પોલિમરાઇઝેશન ઉત્પ્રેરક અને ઓપ્ટિકલ સામગ્રી માટે કાચા માલ તરીકે ઉપયોગ થાય છે. WF6 ની નોન-ઈલેક્ટ્રોનિક એપ્લીકેશન્સ: સ્ટીલની સપાટીના ગુણધર્મોને સુધારવા માટે CVD ટેક્નોલોજી દ્વારા ટંગસ્ટનને સ્ટીલની સપાટી પર ટંગસ્ટન કાર્બાઈડ બનાવવા માટે સખત બનાવી શકાય છે, અને ટંગસ્ટન પાઈપો અને ક્રુસિબલ્સ જેવા અમુક ટંગસ્ટન ઘટકોના ઉત્પાદન માટે પણ તેનો ઉપયોગ કરી શકાય છે.