0102030405
નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ NF3 ઇલેક્ટ્રોનિક ગેસ
ઉત્પાદન વર્ણન
નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ એ એક અકાર્બનિક સંયોજન છે, રાસાયણિક સૂત્ર NF3, સામાન્ય તાપમાન અને દબાણ પર રંગહીન ગેસ, પાણીમાં અદ્રાવ્ય, મજબૂત ઓક્સિડાઇઝિંગ એજન્ટ છે, માઇક્રોઇલેક્ટ્રોનિક્સ ઉદ્યોગમાં એક ઉત્તમ પ્લાઝ્મા એચિંગ ગેસ છે, અને ઉચ્ચ-ઊર્જા તરીકે પણ વાપરી શકાય છે. બળતણ
સ્પષ્ટીકરણ
સ્પષ્ટીકરણ | 99.99% | 99.999% |
કાર્બન ટેટ્રાફ્લોરાઇડ | ≤40ppmv | ≤20ppmv |
નાઈટ્રોજન | ≤10ppmv | ≤50ppmv |
ઓક્સિજન + આર્ગોન | ≤5ppmv | ≤3ppmv |
કાર્બન મોનોક્સાઈડ | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
કાર્બન ડાયોક્સાઇડ | ≤3ppmv | ≤0.5ppmv |
નાઈટ્રસ ઑક્સાઇડ | ≤3ppmv | ≤1ppmv |
સલ્ફર હેક્સાફ્લોરાઇડ | ≤3ppmv | ≤2ppmv |
ભેજ | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
HF તરીકે વ્યક્ત કરો | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
લાક્ષણિક એપ્લિકેશન
① ઓક્સિડન્ટ તરીકે: તેનો ઉપયોગ હાઇડ્રોજન ફલોરાઇડ લેસર માટે ઓક્સિડન્ટ તરીકે થઈ શકે છે.
② એચિંગ એજન્ટ તરીકે: તેનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર, લિક્વિડ ક્રિસ્ટલ્સ અને પાતળા ફિલ્મ સોલાર સેલના ઉત્પાદનમાં એચિંગ એજન્ટ તરીકે થઈ શકે છે.
પેકેજ અને શિપિંગ
ઉત્પાદન | નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ NF3 |
પેકેજિંગ કદ | 40 લિટર સિલિન્ડર |
ચોખ્ખું વજન/સાયલ ભરવું | 20 કિગ્રા |
20'કન્ટેનરમાં લોડ થયેલ QTY | 240 સિલ્સ |
કુલ નેટ વજન | 4.8 ટન |
સિલિન્ડર ટાયર વજન | 52 કિગ્રા |
વાલ્વ | CGA330/DISS640 |