Produtos
Trifluoruro de Nitróxeno NF3 Gas Electrónico
Descrición do produto
O trifluoruro de nitróxeno é un composto inorgánico, fórmula química NF3, gas incoloro a temperatura e presión normais, insoluble en auga, é un forte axente oxidante, é un excelente gas de gravado por plasma na industria da microelectrónica e tamén se pode usar como un produto de alta enerxía. combustible.
Especificación
Especificación | 99,99 % | 99,999 % |
Tetrafluoruro de carbono | ≤ 40 ppmv | ≤ 20 ppmv |
Nitróxeno | ≤ 10 ppmv | ≤ 50 ppmv |
Osíxeno + Argón | ≤ 5 ppmv | ≤ 3 ppmv |
Monóxido de carbono | ≤ 1 ppmv | ≤ 1 ppmv |
Gas carbónico | ≤ 3 ppmv | ≤0,5 ppmv |
Óxido nitroso | ≤ 3 ppmv | ≤ 1 ppmv |
Hexafluoruro de xofre | ≤ 3 ppmv | ≤ 2 ppmv |
Humidade | ≤ 1 ppmv | ≤ 1 ppmv |
Expresa como HF | ≤ 1 ppmv | ≤ 1 ppmv |
Aplicación típica
Paquete e envío
Produto | Trifluoruro de Nitróxeno NF3 |
Tamaño de embalaxe | Cilindro de 40 litros |
Peso neto de recheo/cil | 20 kgs |
CANTIDADE cargada en contedor de 20' | 240 cilos |
Peso neto total | 4,8 toneladas |
Peso de tara do cilindro | 52 kg |
Válvula | CGA330/DIS640 |