Gasaichean dealanach
0102030405
Tungsten hexafluoride WF6
Tuairisgeul
Tha tungsten hexafluoride na todhar neo-organach leis an fhoirmle ceimigeach WF6, gas gun dath aig teòthachd agus cuideam an t-seòmair, agus solubhail anns a’ mhòr-chuid de fhuasglaidhean organach.
Susbaint toraidh
| Sònrachadh | 99.999% | ||
| CF4 |
| K | ≤5ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10ppb |
| N2 | ＜1ppm | Mar-thà | ≤5ppb |
| CO | ＜0.5 ppm | Th | ≤0.1ppb |
| CO2 | ＜0.5 ppm | As | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0.5 ppm | Sin | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0.5 ppm | ANNS | ≤0.05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| Al | ≤10ppb | Agus | ≤10ppb |
| As | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| B | ≤10ppb | P | ≤2 ppb |
| Sin | ≤5ppb | Tha mg | ≤10ppb |
| Cd | ≤2 ppb | Anns | ≤20ppb |
| Cr | ≤10ppb | Le | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | Mo | ≤10ppb |
| Neo-chunbhalachd iomlan de mheatailt eile | ≤500 | ||
Pacaid & Luingearachd
| Bathar | Tungsten hexafluoride WF6 | ||
| Meud pacaid | 10Ltr siolandair | Siolandair 50Ltr | / |
| A 'lìonadh cuideam lom / Cyl | 15KGS | 50kg | |
| QTY Air a luchdachadh ann an 20'Container | 500 cearcall | 200 cearcall | |
| Cuideam tare siolandair | 14 kg | 55kg | |
| Bhalbhaiche | CGA638 | ||
Iarrtas àbhaisteach
Is e fluoride tungstain (WF6) an aon mheasgachadh fluoride tungsten a tha seasmhach agus air a thoirt a-mach gu gnìomhachas. Tha e air a chleachdadh sa mhòr-chuid mar stuth amh airson pròiseas tasgadh bhalbhaichean ceimigeach meatailt tungsten (CVD) ann an gnìomhachas dealanach, agus faodar an WSi2 a chaidh a dhèanamh bhuaithe a chleachdadh mar stuth uèiridh ann an cuairtean amalaichte mòr (LSI), agus faodaidh e a bhith cuideachd. air a chleachdadh mar stuth amh airson electrodes semiconductor, riochdairean fluorinating, catalysts polymerization agus stuthan optigeach. Cleachdaidhean neo-dealanach de WF6: Faodar tungsten a dhèanamh cruaidh gus carbide tungstain a thoirt gu buil air uachdar stàilinn le teicneòlas CVD gus feartan uachdar stàilinn a leasachadh, agus faodar a chleachdadh cuideachd airson cuid de cho-phàirtean tungstain a dhèanamh, leithid pìoban tungstain agus crucibles.