Gáis leictreonacha
0102030405
Heicseafluairíd tungstain WF6
Cur síos
Is comhdhúil neamhorgánach é heicseafluairíd tungstain leis an bhfoirmle ceimiceach WF6, gás gan dath ag teocht agus brú an tseomra, agus intuaslagtha sa chuid is mó de thuaslagóirí orgánacha.
Ábhar Táirge
| Sonraíocht | 99.999% | ||
| CF4 |
| K | ≤5ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10ppb |
| N2 | ＜1ppm | Cheana féin | ≤5ppb |
| CO | ＜0.5ppm | Th | ≤0.1ppb |
| CO2 | ＜0.5ppm | As | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0.5ppm | Sin | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0.5ppm | IN | ≤0.05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| Al | ≤10ppb | Agus | ≤10ppb |
| Mar | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| b | ≤10ppb | p | ≤2ppb |
| Sin | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
| Cd | ≤2ppb | I | ≤20ppb |
| Cr | ≤10ppb | Le | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | Mo | ≤10ppb |
| Neamhíonachtaí iomlána miotail eile | ≤500 | ||
Pacáiste & Loingseoireacht
| Táirge | Heicseafluairíd tungstain WF6 | ||
| Méid Pacáiste | Sorcóir 10Ltr | Sorcóir 50Ltr | / |
| Glanmheáchan/Cil | 15KGS | 50kg | |
| QTY Luchtaithe i 20'Coimeádán | 500Cil | 200Cil | |
| Meáchan Tare Sorcóir | 14kg | 55kg | |
| comhla | CGA638 | ||
Feidhmchlár tipiciúil
Is é fluairíd tungstain (WF6) an t-aon chineál fluairíd tungstain atá cobhsaí agus a tháirgtear go tionsclaíoch. Úsáidtear é go príomha mar amhábhar le haghaidh próiseas taiscí gaile ceimiceach miotail tungstain (CVD) sa tionscal leictreonaic, agus is féidir an WSi2 a dhéantar as a úsáid mar ábhar sreangú i gciorcaid chomhtháite ar scála mór (LSI), agus is féidir é a úsáid freisin. a úsáidtear mar amhábhar le haghaidh leictreoidí leathsheoltóra, gníomhairí fluairínithe, catalaíoch polaiméirithe agus ábhair optúla. Feidhmchláir neamhleictreonacha WF6: Is féidir le teicneolaíocht CVD tungstain chomhdhúile tungstain a tháirgeadh ar dhromchla cruach chun feabhas a chur ar airíonna dromchla cruach, agus is féidir é a úsáid freisin chun comhpháirteanna tungstain áirithe a mhonarú, mar shampla píopaí tungstain agus breogáin.