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Gaz électronique de trifluorure d'azote NF3

Gaz électronique de trifluorure d'azote NF3

Spécification:

N° CAS : 7783-54-2

N° EINECS : 232-007-1

Numéro ONU : ONU 2451

Classe DOT : 2.2 et 5.1

Pureté : 99,99 %-99,999 %

Emballage standard : bouteilles de 40 L/bouteilles de 47 L/bouteilles de 440 L

Poids moléculaire : 71,0019 g/mol

Densité : 2,96 kg/m³

Propriété chimique : Gaz ininflammable, agent oxydant

Qualité standard : qualité industrielle, qualité électronique

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détails du produit

Description du produit

Le trifluorure d'azote est un composé inorganique, de formule chimique NF3, un gaz incolore à température et pression normales, insoluble dans l'eau, est un agent oxydant puissant, est un excellent gaz de gravure au plasma dans l'industrie microélectronique et peut également être utilisé comme agent à haute énergie. carburant.

spécification

spécification	99,99%	99,999%
Tétrafluorure de carbone	≤40ppmv	≤20ppmv
Azote	≤10ppmv	≤50ppmv
Oxygène+Argon	≤5ppmv	≤3ppmv
Monoxyde de carbone	≤1ppmv	≤1ppmv
Gaz carbonique	≤3ppmv	≤0,5ppmv
Protoxyde d'azote	≤3ppmv	≤1ppmv
Hexafluorure de soufre	≤3ppmv	≤2ppmv
Humidité	≤1ppmv	≤1ppmv
Exprimer en HF	≤1ppmv	≤1ppmv

Application typique

① Comme oxydant : il peut être utilisé comme oxydant pour les lasers au fluorure d'hydrogène.

② Comme agent de gravure : il peut être utilisé comme agent de gravure dans la production de semi-conducteurs, de cristaux liquides et de cellules solaires à couches minces.

Emballage et expédition

Produit	Trifluorure d'Azote NF3
Taille de l'emballage	Cylindre de 40 litres
Poids net de remplissage/cylindre	20kg
QTÉ chargée dans un conteneur de 20'	240 cylindres
Poids net total	4,8 tonnes
Tare du cylindre	52kg
Soupape	CGA330/DISS640