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Tétrafluorure de carbone CF4 R14 Gaz électronique

Des produits

Tétrafluorure de carbone CF4 R14 Gaz électronique

N° CAS : 75-73-0

N° EINECS : 200-896-5

Numéro ONU : UN1982

Classe POINT : 2,2

Pureté : 99,999 %

Emballage standard : cylindre de 44 L, 47 L

Poids moléculaire : 88,0043 g/mol

Densité : 3,72 kg/m³

Propriété chimique : Gaz ininflammable

Qualité standard : qualité industrielle, qualité réfrigérante

    Description du produit

    Le tétrafluorure de carbone, également connu sous le nom de tétrafluorométhane, répond à la formule chimique CF4. Il peut être considéré soit comme un hydrocarbure halogéné (substance organique), soit comme un composé inorganique. C'est un gaz incolore à température et pression normales et insoluble. Dans l'eau, soluble dans le benzène et le chloroforme, il est principalement utilisé dans le processus de gravure plasma de divers circuits intégrés. Il est également utilisé comme liquide de refroidissement pour le gaz laser, le réfrigérant basse température, le solvant, le lubrifiant, le matériau isolant et le tube détecteur infrarouge.

    spécification

    spécification

    99,999%

    Oxygène+Argon

    ≤1 ppm

    Azote

    ≤4 ppm

    Humidité (H2O)

    ≤3 ppm

    HF

    ≤0,1 ppm

    CO

    ≤0,1 ppm

    CO2

    ≤1 ppm

    SF6

    ≤1 ppm

    Halocarbynes

    ≤1 ppm

    Impuretés totales

    ≤10 ppm

    Application typique

    ①Réfrigérant : le tétrafluorométhane est parfois utilisé comme réfrigérant à basse température.
    ②Gravure : Il est utilisé dans la microfabrication électronique seul ou en combinaison avec de l'oxygène comme agent de gravure plasma pour le silicium, le dioxyde de silicium et le nitrure de silicium.

    Emballage et expédition

    Produit

    Tétrafluorure de carbone CF4

    Taille du paquet

    Cylindre de 40 litres

    Cylindre de 50 litres

     

    Poids net de remplissage/cylindre

    30Kgs

    38Kgs

     

    QTÉ chargée dans un conteneur de 20'

    250 cylindres

    250 cylindres

    Poids net total

    7,5 tonnes

    9,5 tonnes

    Tare du cylindre

    50Kgs

    55Kgs

    Soupape

    CGA580