Elektroniset kaasut
0102030405
Volframiheksafluoridi WF6
Kuvaus
Volframiheksafluoridi on epäorgaaninen yhdiste, jonka kemiallinen kaava on WF6, väritön kaasu huoneenlämpötilassa ja paineessa ja liukenee useimpiin orgaanisiin liuottimiin.
Tuotteen sisältö
| Erittely | 99,999 % | ||
| CF4 |
| K | ≤5 ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10 ppb |
| N2 | ＜1 ppm | Jo | ≤5 ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤0,1 ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | of | ≤10 ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | Että | ≤10 ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | IN | ≤0,05 ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10 ppb |
| Al | ≤10 ppb | Ja | ≤10 ppb |
| Kuten | ≤10 ppb | Pb | ≤10 ppb |
| B | ≤10 ppb | P | ≤2 ppb |
| Että | ≤5 ppb | Mg | ≤10 ppb |
| CD | ≤2 ppb | sisään | ≤20 ppb |
| Cr | ≤10 ppb | Kanssa | ≤5 ppb |
| Fe | ≤10 ppb | Mo | ≤10 ppb |
| Muiden metallien epäpuhtaudet yhteensä | ≤500 | ||
Paketti & Toimitus
| Tuote | Volframiheksafluoridi WF6 | ||
| Paketin koko | 10 litran sylinteri | 50 litran sylinteri | / |
| Täyttö nettopaino/syl | 15 kg | 50 kg | |
| Kpl Ladattu 20' Container | 500 syl | 200 syl | |
| Sylinterin taarapaino | 14 kg | 55 kg | |
| Venttiili | CGA638 | ||
Tyypillinen sovellus
Volframifluoridi (WF6) on ainoa vakaa ja teollisesti valmistettu volframifluoridilajike. Sitä käytetään pääasiassa raaka-aineena volframimetallien kemialliseen höyrypinnoitusprosessiin (CVD) elektroniikkateollisuudessa, ja siitä valmistettua WSi2:ta voidaan käyttää johdotusmateriaalina suuren mittakaavan integroiduissa piireissä (LSI). käytetään puolijohdeelektrodien, fluorausaineiden, polymerointikatalyyttien ja optisten materiaalien raaka-aineena. WF6:n ei-elektroniset sovellukset: Volframi voidaan tehdä kovaksi tuottamaan volframikarbidia teräksen pinnalle CVD-tekniikalla teräksen pintaominaisuuksien parantamiseksi, ja sitä voidaan käyttää myös tiettyjen volframikomponenttien, kuten volframiputkien ja upokkaiden, valmistukseen.