نیتروژن تری فلوراید NF3 گاز الکترونیکی

مشخصات

99.99٪

99.999٪

تترا فلوراید کربن

≤40ppmv

≤20ppmv

نیتروژن

≤10ppmv

≤50ppmv

اکسیژن + آرگون

≤5ppmv

≤3ppmv

مونوکسید کربن

≤1ppmv

≤1ppmv

دی اکسید کربن

≤3ppmv

≤0.5ppmv

اکسید نیتروژن

≤3ppmv

≤1ppmv

هگزا فلوراید گوگرد

≤3ppmv

≤2ppmv

مرطوب

≤1ppmv

≤1ppmv

به صورت HF بیان شود

≤1ppmv

≤1ppmv

تولید - محصول

نیتروژن تری فلوراید NF3

اندازه بسته بندی

سیلندر 40 لیتری

پر کردن وزن خالص / سیکل

20 کیلوگرم

QTY در کانتینر 20 بارگیری شده است

240 سیلن

وزن خالص کل

4.8 تن

وزن تار سیلندر

52 کیلوگرم

شیر فلکه

CGA330/DISS640