Nitrogeno Trifluoruroa NF3 Gas Elektronikoa
Produktuaren Deskribapena
Nitrogeno trifluoruroa konposatu inorganiko bat da, NF3 formula kimikoa, kolorerik gabeko gasa tenperatura eta presio normalean, uretan disolbaezina, agente oxidatzaile indartsua da, mikroelektronika industrian plasma grabatzeko gas bikaina da eta energia handiko energia gisa ere erabil daiteke. erregaia.
Zehaztapena
Zehaztapena | %99,99 | %99,999 |
Karbono tetrafluoruroa | ≤40ppmv | ≤20ppmv |
Nitrogenoa | ≤10ppmv | ≤50ppmv |
Oxigenoa+Argona | ≤5ppmv | ≤3ppmv |
Karbono monoxidoa | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Karbono dioxidoa | ≤3ppmv | ≤0,5 ppmv |
Oxido nitrosoa | ≤3ppmv | ≤1ppmv |
Sufre hexafluoruroa | ≤3ppmv | ≤2 ppmv |
Hezetasuna | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Adierazi HF gisa | ≤1ppmv | ≤1ppmv |
Aplikazio tipikoa
Paketea eta bidalketa
Produktua | Nitrogeno trifluoruroa NF3 |
Enbalatzeko Tamaina | 40 litroko zilindroa |
Pisu garbia betetzea/Zil | 20kg |
QTY 20'ko edukiontzian kargatuta | 240 zil |
Pisu garbia guztira | 4,8 tona |
Zilindroaren Tara Pisua | 52 kg |
Balbula | CGA330/DIS640 |