Elektroonilised gaasid
0102030405
Volframheksafluoriid WF6
Kirjeldus
Volframheksafluoriid on anorgaaniline ühend keemilise valemiga WF6, toatemperatuuril ja rõhul värvitu gaas, mis lahustub enamikus orgaanilistes lahustites.
Toote sisu
| Spetsifikatsioon | 99,999% | ||
| CF4 |
| K | ≤5 ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10 ppb |
| N2 | ＜1 ppm | juba | ≤5 ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤0,1 ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | of | ≤10 ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | See | ≤10 ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | IN | ≤0,05 ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10 ppb |
| Al | ≤10 ppb | Ja | ≤10 ppb |
| Nagu | ≤10 ppb | Pb | ≤10 ppb |
| B | ≤10 ppb | P | ≤2 ppb |
| See | ≤5 ppb | Mg | ≤10 ppb |
| Cd | ≤2 ppb | sisse | ≤20 ppb |
| Kr | ≤10 ppb | Koos | ≤5 ppb |
| Fe | ≤10 ppb | Mo | ≤10 ppb |
| Muude metallide lisandid kokku | ≤500 | ||
Pakend ja saatmine
| Toode | Volframheksafluoriid WF6 | ||
| Pakendi suurus | 10 liitrine silinder | 50L silinder | / |
| Täite netomass/tsil | 15 kg | 50 kg | |
| Kogus 20' konteinerisse laaditud | 500 tsiklit | 200 tsiklit | |
| Silindri taara kaal | 14 kg | 55 kg | |
| Klapp | CGA638 | ||
Tüüpiline rakendus
Volframfluoriid (WF6) on ainus stabiilne ja tööstuslikult toodetud volframfluoriidi sort. Seda kasutatakse peamiselt elektroonikatööstuses volframmetalli keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi toorainena ja sellest valmistatud WSi2 saab kasutada juhtmestiku materjalina suuremahulistes integraallülitustes (LSI) ja seda saab ka kasutada. kasutatakse pooljuhtelektroodide, fluorivate ainete, polümerisatsioonikatalüsaatorite ja optiliste materjalide toorainena. WF6 mitteelektroonilised rakendused: Volframit saab terase pinnaomaduste parandamiseks CVD-tehnoloogia abil muuta terase pinnale volframkarbiidi tootmiseks raskeks ning seda saab kasutada ka teatud volframkomponentide, näiteks volframtorude ja tiiglite tootmiseks.