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Gas electrónico de trifluoruro de nitrógeno NF3

Gas electrónico de trifluoruro de nitrógeno NF3

Especificación:

CAS No.: 7783-54-2

Número EINECS: 232-007-1

UN No.:UN 2451

Clase DOT: 2.2 y 5.1

Pureza: 99,99%-99,999%

Embalaje estándar: cilindros de 40 L/cilindros de 47 L/cilindros de 440 L

Peso molecular: 71,0019 g/mol

Densidad: 2,96 kg/m³

Propiedad química: gas no inflamable, agente oxidante

Grado estándar: grado industrial, grado electrónico

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Detalles de producto

Descripción del Producto

El trifluoruro de nitrógeno es un compuesto inorgánico, fórmula química NF3, gas incoloro a temperatura y presión normales, insoluble en agua, es un agente oxidante fuerte, es un excelente gas de grabado por plasma en la industria microelectrónica y también se puede utilizar como gas de alta energía. combustible.

Especificación

Especificación	99,99%	99,999%
Tetrafluoruro de carbono	≤40 ppmv	≤20 ppmv
Nitrógeno	≤10 ppmv	≤50 ppmv
Oxígeno+Argón	≤5 ppmv	≤3 ppmv
Monóxido de carbono	≤1ppmv	≤1ppmv
Dióxido de carbono	≤3 ppmv	≤0,5 ppmv
Óxido nitroso	≤3 ppmv	≤1ppmv
Hexafloruro de azufre	≤3 ppmv	≤2 ppmv
Humedad	≤1ppmv	≤1ppmv
Expresar como HF	≤1ppmv	≤1ppmv

Aplicación tipica

① Como oxidante: se puede utilizar como oxidante para láseres de fluoruro de hidrógeno.

② Como agente de grabado: se puede utilizar como agente de grabado en la producción de semiconductores, cristales líquidos y células solares de película delgada.

Paquete y envío

Producto	Trifluoruro de nitrógeno NF3
Tamaño de embalaje	Cilindro de 40 litros.
Peso neto de llenado/cilindro	20kg
Cantidad cargada en contenedor de 20'	240 cilindros
Peso neto total	4,8 toneladas
Peso de tara del cilindro	52kg
Válvula	CGA330/DISS640