Elektronikaj gasoj
Heksafluorido de volframo WF6
Priskribo
Volframheksafluorido estas neorganika kunmetaĵo kun la kemia formulo WF6, senkolora gaso ĉe ĉambra temperaturo kaj premo, kaj solvebla en la plej multaj organikaj solviloj.
Produkta Enhavo
| Specifo | 99,999 % | ||
| CF4 |
| K | ≤5ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10ppb |
| N2 | ＜1 ppm | Jam | ≤5ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤0.1ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | De | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | Tio | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | EN | ≤0.05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| Al | ≤10ppb | Kaj | ≤10ppb |
| Kiel | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| B | ≤10ppb | P | ≤2ppb |
| Tio | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
| Kd | ≤2ppb | En | ≤20ppb |
| Cr | ≤10ppb | Kun | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | Mo | ≤10ppb |
| Totalaj malpuraĵoj de alia metalo | ≤500 | ||
Pako & Sendado
| Produkto | Heksafluorido de volframo WF6 | ||
| Pako Grandeco | 10Ltr Cilindro | 50Ltr Cilindro | / |
| Pleniganta Neta Pezo/Cyl | 15KGS | 50 kg | |
| Kvanto Ŝarĝita en 20'Ujo | 500Cyls | 200Cyls | |
| Cilindra Tara Pezo | 14 kg | 55 kg | |
| Valvo | CGA638 | ||
Tipa Apliko
Volframfluorido (WF6) estas la nura stabila kaj industrie produktita volframfluorido diverseco. Ĝi estas ĉefe uzata kiel krudaĵo por volframa metala kemia vapordemetado (CVD) procezo en la elektronika industrio, kaj la WSi2 farita el ĝi povas esti uzata kiel kabla materialo en grandskalaj integraj cirkvitoj (LSI), kaj ankaŭ povas esti. uzata kiel krudaĵo por duonkonduktaj elektrodoj, fluorinaj agentoj, polimerigaj kataliziloj kaj optikaj materialoj. Ne-elektronikaj aplikoj de WF6: Volframo povas esti malmola produkti volframkarbidon sur la surfaco de ŝtalo per CVD-teknologio por plibonigi la surfacajn trajtojn de ŝtalo, kaj ankaŭ povas esti uzata por produkti certajn volframajn komponantojn, kiel volframajn pipojn kaj krisolojn.