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Stickstofftrifluorid NF3 elektronisches Gas

Stickstofftrifluorid NF3 elektronisches Gas

Spezifikation:

CAS-Nr.: 7783-54-2

EINECS-Nr.:232-007-1

UN-Nr.:UN 2451

DOT-Klasse: 2.2 und 5.1

Reinheit: 99,99 % – 99,999 %

Standardverpackung: 40-l-Flaschen/47-l-Flaschen/440-l-Flaschen

Molekulargewicht: 71,0019 g/mol

Dichte: 2,96 kg/m³

Chemische Eigenschaft: Nicht brennbares Gas, Oxidationsmittel

Standardqualität: Industriequalität, Elektronikqualität

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Produktdetails

Produktbeschreibung

Stickstofftrifluorid ist eine anorganische Verbindung, chemische Formel NF3, farbloses Gas bei normaler Temperatur und normalem Druck, unlöslich in Wasser, ist ein starkes Oxidationsmittel, ist ein ausgezeichnetes Plasmaätzgas in der Mikroelektronikindustrie und kann auch als Hochenergiegas verwendet werden Kraftstoff.

Spezifikation

Spezifikation	99,99 %	99,999 %
Kohlenstofftetrafluorid	≤40 ppmv	≤20 ppmv
Stickstoff	≤10 ppmv	≤50 ppmv
Sauerstoff+Argon	≤5ppmv	≤3ppmv
Kohlenmonoxid	≤1ppmv	≤1ppmv
Kohlendioxid	≤3ppmv	≤0,5 ppmv
Lachgas	≤3ppmv	≤1ppmv
Schwefelhexafluorid	≤3ppmv	≤2ppmv
Feuchtigkeit	≤1ppmv	≤1ppmv
Als HF ausdrücken	≤1ppmv	≤1ppmv

Typische Anwendung

① Als Oxidationsmittel: Es kann als Oxidationsmittel für Fluorwasserstofflaser verwendet werden.

② Als Ätzmittel: Es kann als Ätzmittel bei der Herstellung von Halbleitern, Flüssigkristallen und Dünnschichtsolarzellen verwendet werden.

Paket & Versand

Produkt	Stickstofftrifluorid NF3
Verpackungsgröße	40-Liter-Zylinder
Füllung Nettogewicht/Zyl	20 kg
Menge geladen in 20'Container	240 Zyl
Gesamtnettogewicht	4,8 Tonnen
Zylinder-Taragewicht	52 kg
Ventil	CGA330/DISS640