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Kohlenstofftetrafluorid CF4 R14 Elektronisches Gas
Produktbeschreibung
Kohlenstofftetrafluorid, auch Tetrafluormethan genannt, hat die chemische Formel CF4. Es kann entweder als halogenierter Kohlenwasserstoff (organischer Stoff) oder als anorganische Verbindung betrachtet werden. Es ist bei normaler Temperatur und normalem Druck ein farbloses Gas und unlöslich. In Wasser, löslich in Benzol und Chloroform, wird es hauptsächlich im Plasmaätzprozess verschiedener integrierter Schaltkreise verwendet. Es wird auch als Kühlmittel für Lasergas, Niedertemperatur-Kältemittel, Lösungsmittel, Schmiermittel, Isoliermaterial und Infrarot-Detektorröhre verwendet.
Spezifikation
Spezifikation | 99,999 % |
Sauerstoff+Argon | ≤1 ppm |
Stickstoff | ≤4 ppm |
Feuchtigkeit (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0,1 ppm |
CO | ≤0,1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
Halocarbine | ≤1 ppm |
Gesamtverunreinigungen | ≤10 ppm |
Typische Anwendung
Paket & Versand
Produkt | Kohlenstofftetrafluorid CF4 | ||
Packungsgrösse | 40-Liter-Zylinder | 50-Liter-Zylinder |
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Füllung Nettogewicht/Zyl | 30 kg | 38 kg |
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Menge geladen in 20'Container | 250 Zyl | 250 Zyl | |
Gesamtnettogewicht | 7,5 Tonnen | 9,5 Tonnen | |
Zylinder-Taragewicht | 50 kg | 55 kg | |
Ventil | CGA 580 | ||