Elektroniske gasser
Wolfram hexafluorid WF6
Beskrivelse
Wolframhexafluorid er en uorganisk forbindelse med den kemiske formel WF6, en farveløs gas ved stuetemperatur og -tryk og opløselig i de fleste organiske opløsningsmidler.
Produktindhold
| Specifikation | 99,999 % | ||
| CF4 |
| K | ≤5 ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10 ppb |
| N2 | ＜1 ppm | Allerede | ≤5 ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤0,1 ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | Af | ≤10 ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | At | ≤10 ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | I | ≤0,05 ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10 ppb |
| Al | ≤10 ppb | Og | ≤10 ppb |
| Som | ≤10 ppb | Pb | ≤10 ppb |
| B | ≤10 ppb | P | ≤2ppb |
| At | ≤5 ppb | Mg | ≤10 ppb |
| Cd | ≤2ppb | I | ≤20 ppb |
| Cr | ≤10 ppb | Med | ≤5 ppb |
| Fe | ≤10 ppb | Mo | ≤10 ppb |
| Samlede urenheder af andet metal | ≤500 | ||
Pakke & Forsendelse
| Produkt | Wolfram hexafluorid WF6 | ||
| Pakkestørrelse | 10 liter cylinder | 50L cylinder | / |
| Påfyldning Nettovægt/Cyl | 15 kg | 50 kg | |
| ANTAL Indlæst i 20'container | 500 Cyl | 200 Cyls | |
| Cylinder egenvægt | 14 kg | 55 kg | |
| Ventil | CGA638 | ||
Typisk anvendelse
Wolframfluorid (WF6) er den eneste stabile og industrielt producerede wolframfluorid-variant. Det bruges hovedsageligt som råmateriale til wolframmetal kemisk dampaflejring (CVD) proces i elektronikindustrien, og WSi2 fremstillet af det kan bruges som ledningsmateriale i storskala integrerede kredsløb (LSI) og kan også anvendes som råmateriale til halvlederelektroder, fluoreringsmidler, polymerisationskatalysatorer og optiske materialer. Ikke-elektroniske anvendelser af WF6: Wolfram kan gøres svært at fremstille wolframcarbid på overfladen af stål ved hjælp af CVD-teknologi for at forbedre stålets overfladeegenskaber og kan også bruges til at fremstille visse wolframkomponenter, såsom wolframrør og digler.