Elektronické plyny
Hexafluorid wolframu WF6
Popis
Hexafluorid wolframu je anorganická sloučenina s chemickým vzorcem WF6, bezbarvý plyn při pokojové teplotě a tlaku a rozpustný ve většině organických rozpouštědel.
Obsah produktu
| Specifikace | 99,999 % | ||
| CF4 |
| K | ≤5 ppb |
| O2 |
| Mn | ≤ 10 ppb |
| N2 | ＜1 ppm | Již | ≤5 ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤ 0,1 ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | Z | ≤ 10 ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | Že | ≤ 10 ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | V | ≤0,05 ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤ 10 ppb |
| Al | ≤ 10 ppb | A | ≤ 10 ppb |
| Jak | ≤ 10 ppb | Pb | ≤ 10 ppb |
| B | ≤ 10 ppb | P | ≤2 ppb |
| Že | ≤5 ppb | Mg | ≤ 10 ppb |
| CD | ≤2 ppb | V | ≤ 20 ppb |
| Cr | ≤ 10 ppb | S | ≤5 ppb |
| Fe | ≤ 10 ppb | Mo | ≤ 10 ppb |
| Celkové nečistoty z ostatních kovů | ≤500 | ||
Balení a doprava
| Produkt | Hexafluorid wolframu WF6 | ||
| Velikost balení | 10 litrový válec | 50L válec | / |
| Čistá hmotnost náplně/válc | 15 kg | 50 kg | |
| MNOŽSTVÍ Naloženo v 20'kontejneru | 500 válců | 200 válců | |
| Vlastní hmotnost válce | 14 kg | 55 kg | |
| Ventil | CGA638 | ||
Typická aplikace
Fluorid wolframový (WF6) je jedinou stabilní a průmyslově vyráběnou odrůdou fluoridu wolframu. Používá se hlavně jako surovina pro proces chemického nanášení wolframu z plynné fáze (CVD) v elektronickém průmyslu a WSi2 z něj vyrobený může být použit jako elektroinstalační materiál ve velkých integrovaných obvodech (LSI) a může být také používá se jako surovina pro polovodičové elektrody, fluorační činidla, polymerační katalyzátory a optické materiály. Neelektronické aplikace WF6: Wolfram může být ztížen pro výrobu karbidu wolframu na povrchu oceli technologií CVD pro zlepšení povrchových vlastností oceli a může být také použit k výrobě určitých wolframových součástí, jako jsou wolframové trubky a kelímky.