Gasos electrònics
0102030405
Hexafluorur de tungstè WF6
Descripció
L'hexafluorur de tungstè és un compost inorgànic amb la fórmula química WF6, un gas incolor a temperatura i pressió ambient, i soluble en la majoria de dissolvents orgànics.
Contingut del producte
| Especificació | 99,999% | ||
| CF4 |
| K | ≤5 ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10 ppb |
| N2 | ＜1 ppm | Ja | ≤5 ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤0,1 ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | De | ≤10 ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | Això | ≤10 ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | EN | ≤0,05 ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10 ppb |
| Al | ≤10 ppb | I | ≤10 ppb |
| Com | ≤10 ppb | Pb | ≤10 ppb |
| B | ≤10 ppb | P | ≤2 ppb |
| Això | ≤5 ppb | Mg | ≤10 ppb |
| Cd | ≤2 ppb | En | ≤20 ppb |
| Cr | ≤10 ppb | Amb | ≤5 ppb |
| Fe | ≤10 ppb | Mo | ≤10 ppb |
| Impureses totals d'altres metalls | ≤500 | ||
Paquet i enviament
| Producte | Hexafluorur de tungstè WF6 | ||
| Mida del paquet | Cilindre de 10 litres | Cilindre de 50 litres | / |
| Pes net d'ompliment/cil | 15KGS | 50 kgs | |
| QTY carregat en contenidor de 20' | 500 Cils | 200 Cils | |
| Pes de tara del cilindre | 14 kg | 55 kg | |
| Vàlvula | CGA638 | ||
Aplicació típica
El fluorur de tungstè (WF6) és l'única varietat de fluorur de tungstè estable i produïda industrialment. S'utilitza principalment com a matèria primera per al procés de deposició de vapor químic de metalls de tungstè (CVD) a la indústria electrònica, i el WSi2 fet d'ell es pot utilitzar com a material de cablejat en circuits integrats a gran escala (LSI) i també es pot utilitzar. s'utilitza com a matèria primera per a elèctrodes semiconductors, agents fluorats, catalitzadors de polimerització i materials òptics. Aplicacions no electròniques de WF6: el tungstè es pot fer difícil de produir carbur de tungstè a la superfície de l'acer mitjançant la tecnologia CVD per millorar les propietats superficials de l'acer, i també es pot utilitzar per fabricar certs components de tungstè, com ara canonades i gresols de tungstè.