Trifluorur de nitrogen NF3 Gas electrònic
Descripció del producte
El trifluorur de nitrogen és un compost inorgànic, fórmula química NF3, gas incolor a temperatura i pressió normals, insoluble en aigua, és un fort agent oxidant, és un excel·lent gas de gravat per plasma a la indústria de la microelectrònica i també es pot utilitzar com a alta energia. combustible.
Especificació
Especificació | 99,99% | 99,999% |
Tetrafluorur de carboni | ≤40 ppmv | ≤20 ppmv |
Nitrogen | ≤10 ppmv | ≤50 ppmv |
Oxigen + Argó | ≤5 ppmv | ≤3ppmv |
Monoxid de carboni | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Diòxid de carboni | ≤3ppmv | ≤0,5 ppmv |
Òxid de nitrogen | ≤3ppmv | ≤1 ppmv |
Hexafluorur de sofre | ≤3ppmv | ≤2 ppmv |
Humitat | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Expressa com a HF | ≤1 ppmv | ≤1 ppmv |
Aplicació típica
Paquet i enviament
Producte | Trifluorur de nitrogen NF3 |
Mida de l'embalatge | Cilindre de 40 litres |
Pes net d'ompliment/cil | 20 kgs |
QTY carregat en contenidor de 20' | 240 cils |
Pes net total | 4,8 tones |
Pes de tara del cilindre | 52 kg |
Vàlvula | CGA330/DIS640 |