Elektronski gasovi
Volfram heksafluorid WF6
Opis
Volfram heksafluorid je neorgansko jedinjenje sa hemijskom formulom WF6, bezbojni gas na sobnoj temperaturi i pritisku, rastvorljiv u većini organskih rastvarača.
Sadržaj proizvoda
| Specifikacija | 99,999% | ||
| CF4 |
| K | ≤5ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10ppb |
| N2 | ＜1ppm | Već | ≤5ppb |
| CO | ＜0.5ppm | Th | ≤0.1ppb |
| CO2 | ＜0.5ppm | Of | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0.5ppm | To | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0.5ppm | IN | ≤0.05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| Al | ≤10ppb | I | ≤10ppb |
| As | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| B | ≤10ppb | P | ≤2ppb |
| To | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
| Cd | ≤2ppb | U | ≤20ppb |
| Cr | ≤10ppb | With | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | Mo | ≤10ppb |
| Ukupne nečistoće ostalih metala | ≤500 | ||
Paket i dostava
| Proizvod | Volfram heksafluorid WF6 | ||
| Veličina paketa | 10Ltr cilindar | 50Ltr cilindar | / |
| Neto težina punjenja/cil | 15KGS | 50kgs | |
| KOL. Utovareno u 20' kontejner | 500Cyls | 200Cyls | |
| Težina tare cilindra | 14kgs | 55kgs | |
| Ventil | CGA638 | ||
Tipična primjena
Volfram fluorid (WF6) je jedina stabilna i industrijski proizvedena sorta volfram fluorida. Uglavnom se koristi kao sirovina za proces hemijskog taloženja metala volframa (CVD) u elektronskoj industriji, a WSi2 napravljen od njega može se koristiti kao materijal za ožičenje u velikim integrisanim kolima (LSI), a takođe se može koristiti koristi se kao sirovina za poluvodičke elektrode, sredstva za fluoriranje, katalizatore polimerizacije i optičke materijale. Neelektronske primjene WF6: Volfram se može učiniti teškim za proizvodnju volfram karbida na površini čelika CVD tehnologijom kako bi se poboljšala površinska svojstva čelika, a također se može koristiti za proizvodnju određenih volframovih komponenti, kao što su volframove cijevi i lončići.