কেন সেমিকন্ডাক্টর জায়ান্ট উচ্চ-বিশুদ্ধতা ফ্লোরিন (F2 মিক্স) ব্যবহার করে?

সম্প্রতি প্রকাশিত এসকে হাইনিক্সের 2024 সাসটেইনেবিলিটি রিপোর্ট অনুসারে, হাইনিক্স প্রতিস্থাপন করবেনাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইড গ্যাসঅর্ধপরিবাহী পরিচ্ছন্নতার প্রক্রিয়ায় আরো পরিবেশবান্ধব কম গ্লোবাল ওয়ার্মিং পটেনশিয়াল (GWP) গ্যাস ব্যবহার করা হয়। এটা এই প্রক্রিয়া ব্যবহার করে রিপোর্ট করা হয়উচ্চ-বিশুদ্ধ ফ্লোরিন গ্যাসের মিশ্রণ (F2 মিক্স).

সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের এচিং প্রক্রিয়ায়, কাঠামোগুলি সেমিকন্ডাক্টরের মধ্যে খোদাই করা হয়। এই পদক্ষেপ একটি তথাকথিত etcher সঞ্চালিত হয়। খোদাই করা উপাদানগুলি এচিং টুলের দেয়ালেও জমা হয়, তাই টুলটি পরিষ্কার করার জন্য একটি পৃথক প্রক্রিয়া প্রয়োজন। বেশিরভাগ ক্ষেত্রে, এটি দিয়ে পরিষ্কার করা হয়NF3, কিন্তু বাজারে খোদাই আছে যেগুলি একটি ব্যবহার করেউচ্চ-বিশুদ্ধতা F2/N2 গ্যাসের মিশ্রণ.

এই গ্যাস মিশ্রণগুলি পরিবেশ বান্ধব পদ্ধতিতে SiO2 এবং Si3N4 যৌগগুলিকে সরিয়ে দেয় এবং প্রতিস্থাপন করতে পারেNF3একটি পরিষ্কার গ্যাস হিসাবে। উপরন্তু, F2/N2 মিশ্রণের GWP (গ্লোবাল ওয়ার্মিং পটেনশিয়াল) NF3 এর 17900 এর তুলনায় শূন্য। F2/N2 গ্যাসের মিশ্রণও প্রতিস্থাপন করতে পারে।অন্যান্য পরিষ্কারের গ্যাস যেমন CF4 বা C2F6.

SOLVAY বিভিন্ন ফ্লোরিন গ্যাসের মিশ্রণ তৈরি করেছে এবং পেটেন্ট করেছে। CVD পরিষ্কারের প্রক্রিয়াগুলির জন্য একটি পরিবেশগতভাবে বন্ধুত্বপূর্ণ গ্যাস হিসাবে, Solvaclean® প্রতি চক্রে অনেক কম গ্যাস ব্যবহার করে এবং তাই বিকল্পগুলির তুলনায় একই রকম পরিষ্কারের হার থাকা সত্ত্বেও এটি আরও দক্ষ। যদি F2 পরিবেশে ছেড়ে দেওয়া হয়, এটি অবিলম্বে HF-তে পচে যায়। এইচএফ আর্দ্রতা দ্বারা শোষিত হয় এবং পরবর্তীকালে বৃষ্টিতে ধুয়ে যায়। বায়ুমণ্ডলে কিছুই অবশিষ্ট নেই। Solvaclean® পণ্যগুলির একটি শূন্য GWP (গ্লোবাল ওয়ার্মিং পটেনশিয়াল) রয়েছে।

জানা গেছে যে হাইনিক্স এবং স্যামসাং-এর মতো চিপ নির্মাতারা উচ্চ-বিশুদ্ধ ফ্লোরিন মিশ্রিত গ্যাস (F2 মিক্স) এর প্রয়োগ প্রসারিত করতে চাইছে।

আরেকটি ক্রমবর্ধমান গ্যাস হলহাইড্রোজেন ফ্লোরাইড (HF), যা ক্রায়োজেনিক এচিং সরঞ্জামে ব্যবহৃত হয়। এইচএফ-এর একটি GWP 1 বা তার কম, যা অতীতে NAND চ্যানেল হোল এচিংয়ের জন্য ব্যবহৃত ফ্লুরোকার্বন গ্যাসের তুলনায় অনেক কম।ফ্লুরোকার্বন ফ্যামিলি গ্যাস কার্বন টেট্রাফ্লোরাইড (CF4)এবং অক্টাফ্লুরোসাইক্লোবিউটেন (C4F8) এর যথাক্রমে 6030 এবং 9540 এর GWP আছে।

গ্যাসের ব্যবহারে উপরে উল্লিখিত পরিবর্তনও সংশ্লিষ্টদের কর্মক্ষমতার উপর প্রভাব ফেলবে বলে আশা করা হচ্ছেইলেকট্রনিক বিশেষ গ্যাস কোম্পানি.