Електронни газове
0102030405
Волфрамов хексафлуорид WF6
Описание
Волфрамовият хексафлуорид е неорганично съединение с химическа формула WF6, безцветен газ при стайна температура и налягане и разтворим в повечето органични разтворители.
Съдържание на продукта
| Спецификация | 99,999% | ||
| CF4 |
| К | ≤5ppb |
| O2 |
| Мн | ≤10ppb |
| N2 | ＜1ppm | Вече | ≤5ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤0,1ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | на | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | това | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | IN | ≤0,05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| Ал | ≤10ppb | и | ≤10ppb |
| като | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| Б | ≤10ppb | П | ≤2ppb |
| това | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
| Cd | ≤2ppb | в | ≤20ppb |
| Кр | ≤10ppb | с | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | мо | ≤10ppb |
| Общи примеси от други метали | ≤500 | ||
Опаковка и доставка
| Продукт | Волфрамов хексафлуорид WF6 | ||
| Размер на опаковката | 10Ltr цилиндър | 50Ltr цилиндър | / |
| Нетно тегло на пълнене/цил | 15 кг | 50 кг | |
| БРОЙ, зареден в 20'контейнер | 500 Cyls | 200 Cyls | |
| Тара на цилиндъра | 14 кг | 55 кг | |
| Клапан | CGA638 | ||
Типично приложение
Волфрамовият флуорид (WF6) е единствената стабилна и индустриално произведена разновидност на волфрамовия флуорид. Използва се главно като суровина за процес на химическо отлагане на пари на волфрамов метал (CVD) в електронната индустрия, а WSi2, направен от него, може да се използва като материал за окабеляване в широкомащабни интегрални схеми (LSI) и може също да бъде използва се като суровина за полупроводникови електроди, флуориращи агенти, полимеризационни катализатори и оптични материали. Неелектронни приложения на WF6: Волфрамът може да бъде направен труден за производство на волфрамов карбид върху повърхността на стомана чрез CVD технология за подобряване на повърхностните свойства на стоманата и може също да се използва за производство на някои волфрамови компоненти, като волфрамови тръби и тигли.