Elektron qazlar
Volfram heksaflorid WF6
Təsvir
Volfram heksaflorid, otaq temperaturunda və təzyiqdə rəngsiz qaz olan və əksər üzvi həlledicilərdə həll olunan WF6 kimyəvi formulu olan qeyri-üzvi birləşmədir.
Məhsulun məzmunu
| Spesifikasiya | 99,999% | ||
| CF4 |
| K | ≤5ppb |
| O2 |
| Mn | ≤10ppb |
| N2 | ＜1 ppm | Artıq | ≤5ppb |
| CO | ＜0,5 ppm | Th | ≤0.1ppb |
| CO2 | ＜0,5 ppm | Of | ≤10ppb |
| SiF4 | ＜0,5 ppm | Bu | ≤10ppb |
| SF6 | ＜0,5 ppm | IN | ≤0.05ppb |
| HF | ＜ppm | Zn | ≤10ppb |
| Al | ≤10ppb | Və | ≤10ppb |
| kimi | ≤10ppb | Pb | ≤10ppb |
| B | ≤10ppb | P | ≤2ppb |
| Bu | ≤5ppb | Mg | ≤10ppb |
| CD | ≤2ppb | In | ≤20ppb |
| Cr | ≤10ppb | ilə | ≤5ppb |
| Fe | ≤10ppb | Mo | ≤10ppb |
| Digər metalların ümumi çirkləri | ≤500 | ||
Paket və Çatdırılma
| Məhsul | Volfram heksaflorid WF6 | ||
| Paket Ölçüsü | 10 Ltr silindr | 50 Ltr silindr | / |
| Doldurma Net Çəki/Sil | 15KGS | 50 kq | |
| QTY 20' Konteynerə Yüklənir | 500Cyl | 200Cyl | |
| Silindr tarasının çəkisi | 14 kq | 55 kq | |
| Vana | CGA638 | ||
Tipik Tətbiq
Volfram flüorid (WF6) yeganə stabil və sənaye üsulu ilə istehsal olunan volfram flüorid çeşididir. Əsasən elektronika sənayesində volfram metalının kimyəvi buxar çökməsi (CVD) prosesi üçün xammal kimi istifadə olunur və ondan hazırlanan WSi2 böyük miqyaslı inteqral sxemlərdə (LSI) naqil materialı kimi istifadə edilə bilər və həmçinin yarımkeçirici elektrodlar, flüorlaşdırıcı maddələr, polimerləşmə katalizatorları və optik materiallar üçün xammal kimi istifadə olunur. WF6-nın qeyri-elektron tətbiqləri: Volfram poladın səth xüsusiyyətlərini yaxşılaşdırmaq üçün CVD texnologiyası ilə poladın səthində volfram karbidini istehsal etmək üçün çətinləşdirilə bilər və həmçinin volfram boruları və tigelər kimi müəyyən volfram komponentlərinin istehsalı üçün istifadə edilə bilər.