غاز النيتروجين ثلاثي فلوريد NF3 الإلكتروني

تخصيص

99.99%

99.999%

رابع فلوريد الكربون

≥40 جزء في المليون

≥20 جزء في المليون

نتروجين

≥10 جزء في المليون

≥50 جزء في المليون

الأكسجين + الأرجون

≥5ppmv

≥3ppmv

أول أكسيد الكربون

≥1ppmv

≥1ppmv

ثاني أكسيد الكربون

≥3ppmv

.50.5 جزء في المليون

أكسيد النيتروز

≥3ppmv

≥1ppmv

سادس فلوريد الكبريت

≥3ppmv

≥2ppmv

رُطُوبَة

≥1ppmv

≥1ppmv

أعرب كـ HF

≥1ppmv

≥1ppmv

منتج

ثلاثي فلوريد النيتروجين NF3​​​

حجم العبوة

اسطوانة 40 لتر

ملء الوزن الصافي/الأسطوانة

20 كلغ

الكمية محملة في حاوية 20'

240 سلسة

إجمالي الوزن الصافي​​​​​

4.8 طن

الوزن الفارغ للأسطوانة

52 كلغ

صمام

CGA330/DISS640