ሴሚኮንዳክተር ጃይንት ከፍተኛ ንፅህና ያለው የፍሎራይን (F2 ድብልቅ) አጠቃቀምን ለምን ያሰፋዋል?

እንደ SK Hynix 2024 የዘላቂነት ሪፖርት በቅርቡ የተለቀቀው ሃይኒክስ ይተካዋልናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ ጋዝበሴሚኮንዳክተር ጽዳት ሂደቶች የበለጠ ለአካባቢ ጥበቃ ተስማሚ ዝቅተኛ የአለም ሙቀት መጨመር (GWP) ጋዞች ጥቅም ላይ ይውላል። እነዚህ ሂደቶች እንደሚጠቀሙ ተዘግቧልከፍተኛ-ንፅህና የፍሎራይን ጋዝ ድብልቅ (F2 ድብልቅ).

በሴሚኮንዳክተር ማምረት ሂደት ውስጥ መዋቅሮች በሴሚኮንዳክተር ውስጥ ተቀርፀዋል. ይህ እርምጃ ኤተር በሚባለው ውስጥ ይከናወናል. የተቀረጸው ቁሳቁስ በግድግዳው ግድግዳ ላይ ያስቀምጣል, ስለዚህ መሳሪያውን ለማጽዳት የተለየ ሂደት ያስፈልጋል. በአብዛኛዎቹ ሁኔታዎች, ከ ጋር ይጸዳልኤንኤፍ3ነገር ግን በገበያ ላይ ሀ የሚጠቀሙ ኢተቸሮች አሉ።ከፍተኛ-ንፅህና F2 / N2 ጋዝ ድብልቅ.

እነዚህ የጋዝ ውህዶች SiO2 እና Si3N4 ውህዶችን ለአካባቢ ተስማሚ በሆነ መንገድ ያስወግዳሉ እና መተካት ይችላሉ።ኤንኤፍ3እንደ ማጽጃ ጋዝ. በተጨማሪም የF2/N2 ድብልቅ GWP (ግሎባል የሙቀት አማቂ አቅም) ከኤንኤፍ3 17900 ጋር ሲነጻጸር ዜሮ ነው። የF2/N2 ጋዝ ድብልቅም ሊተካ ይችላል።እንደ CF4 ወይም C2F6 ያሉ ሌሎች የጽዳት ጋዞች.

SOLVAY የተለያዩ የፍሎራይን ጋዝ ውህዶችን አዘጋጅቶ የፈጠራ ባለቤትነት አግኝቷል። ለሲቪዲ የጽዳት ሂደቶች ለአካባቢ ጥበቃ ተስማሚ ጋዝ እንደመሆኖ፣ Solvaclean® በአንድ ዑደት በጣም ያነሰ ጋዝ ይጠቀማል እና ስለሆነም ከአማራጮች ጋር ተመሳሳይ የጽዳት መጠን ቢኖረውም የበለጠ ቀልጣፋ ነው። F2 ወደ አካባቢው ከተለቀቀ, ወዲያውኑ ወደ ኤችኤፍ ይበሰብሳል. ኤችኤፍ በእርጥበት ተወስዶ በዝናብ ይታጠባል። በከባቢ አየር ውስጥ ምንም የቀረ ነገር የለም። የ Solvaclean® ምርቶች ዜሮ GWP (የዓለም ሙቀት መጨመር እምቅ) አላቸው።

እንደ ሃይኒክስ እና ሳምሰንግ ያሉ ቺፕ አምራቾች ከፍተኛ ንፁህ የሆነ የፍሎራይን ድብልቅ ጋዝ (F2 Mix) አተገባበርን ለማስፋት እየፈለጉ እንደሆነ ተዘግቧል።

ሌላው እየጨመረ ጥቅም ላይ የዋለ ጋዝ ነውሃይድሮጂን ፍሎራይድ (HF), በ cryogenic etching መሳሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል. ኤችኤፍ 1 ወይም ከዚያ በታች GWP አለው፣ ከዚህ ቀደም ለኤንኤንድ ቻናል ቀዳዳ ማሳከክ ጥቅም ላይ ከዋሉት የፍሎሮካርቦን ጋዞች በጣም ያነሰ።የፍሎሮካርቦን ቤተሰብ ጋዞች ካርቦን tetrafluoride (CF4)እና octafluorocyclobutane (C4F8) በቅደም ተከተል 6030 እና 9540 GWPs አላቸው።

ከላይ የተጠቀሰው የጋዝ አጠቃቀም ለውጥ በተዛማጅ አፈፃፀም ላይ ተፅእኖ ይኖረዋል ተብሎ ይጠበቃልየኤሌክትሮኒክስ ልዩ ጋዝ ኩባንያዎች.